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非标陶瓷加工件都包括哪些,各有什么作用?

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非标陶瓷加工件都包括哪些,各有什么作用?

发布日期:2022-01-24 21:04 来源:http://www.khadamates.com 点击:

陶瓷棒:
因各个客户机台运用上的不同,因而会延伸出多种不同外观巨细的陶瓷棒。这个部分皆可根据各户的需求进行出产。

陶瓷螺丝
半导体以及光电业机台设备因会需运用酸碱性较高的腐蚀性化学药剂,机台内运用之螺丝也需要考虑到是否能够抗酸碱腐蚀,故许多机台内的螺丝都选用陶瓷螺丝。

聚焦环
首要用在半导体以及光电业蚀刻机台设备,所以机台亦长时间与化学药剂触摸,故此零件大部分厂商会运用陶瓷或是石英,石英部分较陶瓷不耐磕碰,石英磕碰后容易形成表免剥落状态,上时机形成问题。故现在所知选用陶瓷的厂商现已越来越多。
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注入器
在半导体机台设备中扮演着化学气体输出入的人物,由于他长时间都需触摸化学气体,故他必须要有耐酸碱耐腐蚀的功用,避免由于他的腐蚀形成机台设备的损害。工程陶瓷零件的耐腐蚀抗酸碱刚好合适运用。

上下?;せ?/span>
陶瓷自身无磁性之功用正好符合半导体机台内?;せ贩乐乖友陡扇旁擞?,因机台所需的尺度巨细不同,尺度部分也会因而不同。这个部分皆可根据各户的需求进行出产。

机械手臂
因半导体机台设备内常运用化学药剂,机台设备所出产之产品又必须要能够转送下一站别,故有了机械手臂这项产品。为了避免机台内的化学药剂对机械手臂发生化学反应,许多厂商现已开始改用陶瓷所出产的机械手臂。
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钟罩
会用在反应器体系内,且电浆或是化学气体有时会在此停留,故在钟罩的原料运用上需特别注意耐酸碱耐腐蚀,因而现在有许多半导体设备上所运用之钟罩选用陶瓷原料,钟罩之外表也能够配合另外掩盖其他金属原料?;虮舅窘鹗糁诱挚勺鎏沾杀砻娲?。

压紧环
用于光电业前段制程机台设备中,长时间会触摸化学药剂,陶瓷原料可避免长时间触摸化学药剂发生腐蚀的现象。

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